Hoe ASML in de nieuwe techoorlog wordt gezogen

De frontlinie van de techoorlog tussen Washington en Beijing ligt dichterbij dan je denkt.

De Kempenbaan is de verkeersader – je mag er tegenwoordig zeventig kilometer per uur – die langs het uitdijende ASML-complex loopt: de verzameling fabrieken en kantoren van het Nederlandse hightechbedrijf en diens toeleveranciers.

Hier, bij de afslag Veldhoven-Zuid, ontwikkelt ASML zijn lithografiemachines. Dat zijn complexe systemen die honderden miljoenen euro’s per stuk kunnen kosten. Chipfabrikanten als Intel, Samsung en het Taiwanese TSMC gebruiken ASML’s techniek om op grote schaal geheugenchips en processoren te kunnen maken. Steeds kleiner, steeds fijnmaziger, krachtiger en goedkoper.

Het is een technisch hoogstandje dat ze nergens ter wereld zo goed beheersen als in Veldhoven, langs de Kempenbaan.

Lees ook: De magische machine waar China en de VS om vechten

Wereldmachten China en de VS beschouwen chips als de belangrijkste bouwsteen van hun economische toekomst. China, dat tot nu toe voornamelijk halfgeleiders importeert, wil een zelfstandige chipindustrie opzetten. Om dat ambitieuze onderdeel van Xi Jinpings Made in China 2025-plan te verwezenlijken is ASML, marktleider in lithografie, onmisbaar.

De Amerikanen beschouwen Made in China als een aanval op hun economisch en technologisch leiderschap. Washington – met steun van Republikeinen én Democraten – probeert China af te remmen. De Chinese communistische partij spioneert, steelt en speelt vals, zeggen de Amerikanen.

Door de pandemie zijn de verhoudingen tussen de VS en China verder verslechterd. Dat gaat gepaard met beschuldigingen aan het adres van Chinese bedrijven als Tencent en TikTok. Ingrijpender is de langdurige campagne tegen Huawei, wiens apparatuur te vinden is in veel Europese mobiele netwerken. Alle buitenlandse chipleveranties naar Huawei zijn afgesneden door Amerikaanse exportbeperkingen. Zo wil Trump China’s succesvolste techbedrijf vernietigen.

Huawei kan zelfs geen chips meer in Taiwan laten maken en zoekt naar alternatieve leveranciers binnen China, zoals de Chinese chipfabrikant SMIC (Semiconductor Manufacturing International Corporation). Dit bedrijf is het nieuwe mikpunt in de techoorlog.

Lees ook:SMIC is het nieuwe mikpunt in de Trumps techoorlog

SMIC zou volgens Amerikaanse rapporten, in handen van NRC, chips produceren voor militaire doeleinden. SMIC ontkent dat. Toch zijn sinds vorige maand exportrestricties van kracht: Amerikaanse leveranciers van chipmachines hebben voortaan toestemming nodig om aan SMIC te leveren. En dat raakt ook ASML.

ASML onderwerp van discussie

ASML’s lithografiemachines worden in Nederland ontwikkeld en gebouwd. Daarom rekent ASML erop dat het grotendeels ontsnapt aan de restricties van het Bureau of Industry and Security, dat namens het Amerikaanse ministerie van Handel exportregels opstelt.

Onderdelen en opgeknapte machines die rechtstreeks vanuit de VS geëxporteerd worden naar SMIC zijn wel licentieplichtig, liet ASML-topman Peter Wennink weten tijdens de presentatie van de laatste kwartaalcijfers. „Maar volgens de huidige regels kunnen we onze Chinese klanten vanuit Nederland machines leveren.”

De Amerikaanse exportregels zijn echter veranderlijk, zo merkte Huawei eerder al. In het Witte Huis is ASML’s positie momenteel onderwerp van discussie, laat een ingewijde in de Trump-regering aan NRC weten. „We beschouwen ASML als een kritiek onderdeel in de chipindustrie en overwegen of het nodig is dat ASML een licentie nodig heeft om naar SMIC te exporteren.”

Lees ook: Hightech oorlog: Hoe Trump faalde in de strijd tegen Huawei

De lichtbron van de lithografiemachines komt van ASML-dochter Cymer uit San Diego. Van daaruit gaat de apparatuur naar Veldhoven en vervolgens – meestal – naar een chipfabrikant in Azië. Grotendeels Nederlandse hightech en geen zaak voor de Amerikanen dus, vinden ze bij ASML.

Er is één maar: het ministerie van Handel eist dat Amerikaanse apparatuur niet gebruikt mag worden in machines waarmee uiteindelijk chips voor Huawei geproduceerd worden. Deze foreign produced direct rule tegen Huawei werd in augustus nog eens aangescherpt en reikt over alle landsgrenzen heen.

De regering-Trump heeft geprobeerd de Nederlandse overheid bij de Chinese kwestie „te betrekken”, laat de bron in het Witte Huis aan NRC weten.

De vorige keer dat de VS de Nederlandse overheid betrokken bij ASML was in 2019, toen Nederland na Amerikaanse druk een exportvergunning voor een Chinese order blokkeerde. Dat ging om een bestelling van 150 miljoen dollar die SMIC deed voor een EUV-systeem: die afkorting staat voor extreme ultraviolet, de lichtbron van ASML’s meest geavanceerde machine. EUV kan volgens het Wassenaar Arrangement gebruikt worden voor militaire doeleinden en vergt een vergunning, volgens multilaterale afspraken.

De Amerikaanse exportrestrictie voor SMIC grijpt eenzijdig in op een veel gangbaarder technologie: deep ultraviolet ofwel DUV. Die kan ook ragfijne chippatronen drukken, maar is niet zo efficiënt en toekomstbestendig als EUV.

De nieuwe grenzen

ASML telt 25.000 medewerkers – waarvan ruim 13.000 in Nederland – en is verreweg de grootste Nederlandse investeerder in onderzoek en ontwikkeling.

In 2020 denkt ASML (jaaromzet 11,8 miljard euro) meer dan een miljard euro aan Chinese chipmakers te verkopen. Het bedrijf hoopt, mede dankzij de ontluikende chipindustrie in China, door te groeien tot 24 miljard euro omzet in 2024.

SMIC speelt daarin een belangrijke rol. In 2014 bestelde SMIC nog voor 450 miljoen euro aan apparatuur bij ASML. De toenmalige minister van Buitenlandse Handel Lilianne Ploumen (PvdA), reisde mee om de deal te bezegelen. „Dit toont aan hoe belangrijk het is dat we over de grenzen heen kijken”, zei Ploumen destijds.

Maar de grenzen zijn weer terug: in de koude oorlog tussen de VS en China veranderen productiemiddelen in wapens en verlammen exportregels een sector die uitgesmeerd is over drie continenten. Wafers, de ronde platen waarop chips gemaakt worden, reizen de hele wereld rond voordat ze uiteindelijk in een computer, telefoon of server belanden. Die complexe waardeketen rammelt, nu de VS zich willen loskoppelen van China.

Amerikaanse voorsprong slinkt

De regering-Trump heeft exportrestricties ontdekt als een stok om China mee te slaan, maar lijkt zich niet altijd bewust van de gevolgen. China is een belangrijke afzetmarkt voor Amerikaanse chipfabrikanten. Dat omzetverlies beperkt Amerikaanse bedrijven om te investeren in onderzoek en ontwikkeling.

Andere bijwerkingen: fabrikanten mijden de VS om de onvoorspelbare exportregels te ontlopen en China ziet zich gedwongen om nog sneller een eigen chipindustrie te ontwikkelen.

De Chinese overheid steunt de bouw van tientallen chipfabrieken en helpt ook SMIC met kapitaalinjecties. SMIC moet uitgroeien tot een waardige concurrent voor TSMC uit Taiwan. Dat is een foundry, een gespecialiseerde fabriek die op bestelling andermans chips produceert. SMIC, al meermalen veroordeeld voor kennisdiefstal via oud-medewerkers van TSMC, loopt echter nog jaren achter.

Die achterstand wordt gemeten in nanometers, de schaal waarop chips met de nauwkeurigheid van een miljoenste millimeter worden geproduceerd.

TMSC gaat voorop in de nanometerrace en is ASML’s grootste afnemer van EUV-machines. Dat is de reden dat Apple zijn iPhone-chips in Taiwan laat maken. Intel, het grootste Amerikaanse chipbedrijf met eigen fabrieken, houdt het tempo niet bij. Intel heeft moeite naar EUV over te schakelen en ligt twee ‘chipgeneraties’ achter.

Lees ook: Het klokje van Intel klikt nu anders

De Amerikaanse voorsprong in de chipproductie daalt „in alarmerend tempo” zegt de Semiconductor Industry Association (SIA). De VS zagen hun aandeel in chipproductie slinken, van 37 procent in 1990 tot 12 procent nu. Volgens SIA zal China in 2030 de grootste chipproducent ter wereld zijn, met 28 procent marktaandeel.

Sneller rennen

Het Amerikaanse beleid is erop gericht de Chinese technologie af te remmen – alsof je een hardloopwedstrijd probeert te winnen door je tegenstander dwars te zitten. „Je kunt beter zelf sneller gaan rennen”, zegt Harvard-econoom Willy Shih, expert in de waardeketens van de techindustrie.

Shih bepleitte onlangs in het Congres dat de VS zich beter kunnen richten op nieuwe terreinen: fundamenteel onderzoek naar biotechnologie, energie en ruimtevaart bijvoorbeeld. „Als je echt strategisch redeneert, investeer je in techniek die over decennia geld gaat opleveren. En klamp je je niet vast aan markten die al deels afgestoten zijn omdat het niet rendabel was zelf nog te produceren. We moeten voorbij de halfgeleiders kijken.”

Shih is „sceptisch” over een volledige ontkoppeling van de Chinese en Amerikaanse productieketens. „Daar wordt de wereld niet beter op.” Specialisatie op wereldschaal loont daarentegen. „Dat bewijst de Chinese elektronica-industrie, maar ook ASML: ze zijn erg afhankelijk van Cymer en Zeiss [het Duitse bedrijf dat de complexe lens levert van lithografiesystemen] en hebben feedback van TSMC om EUV te verbeteren.”

„Mensen die dit systeem onder druk zetten, snappen niet goed hoe zulke afhankelijkheden werken”, aldus Shih.

Het is echter niet waarschijnlijk dat de VS het ontkoppelingsbeleid bijsturen, ook als Trump de verkiezingen van Biden verliest. „President Trump heeft zich veel harder verzet tegen China dan eerdere presidenten, maar altijd met de steun van beide partijen”, zegt de ingewijde in het Witte Huis „Het zal lastig worden om de Amerikaanse koers nog te wijzigen.”