Hoe houdt Trump ASML in zijn greep?

Technologie Ook zonder omstreden exportvergunning voor ASML heeft China toch toegang tot de hightech EUV-chipmachines uit Veldhoven.

Een medewerker van ASML in een laboratorium. De revolutionaire EUV-techniek waar het bedrijf uit Veldhoven aan werkt is inzet van de handelsoorlog tussen de VS en China.
Een medewerker van ASML in een laboratorium. De revolutionaire EUV-techniek waar het bedrijf uit Veldhoven aan werkt is inzet van de handelsoorlog tussen de VS en China. Foto Emmanuel Dunand/AFP

Als twee grootmachten om je vechten, dan heb je het als bedrijf ver geschopt. Maar ASML, de chipmachinefabrikant uit Veldhoven, zat er bepaald niet op te wachten dat zijn geavanceerde EUV-technologie inzet werd in het handelsconflict tussen de VS en China.

Onder druk van de VS aarzelt de Nederlandse regering al een half jaar over een exportvergunning. Daardoor loopt een grote order uit China, ASML’s belangrijkste groeimarkt, vertraging op.

De discussie gaat over een nieuwe generatie lithografiemachines die met extreem ultraviolet licht (EUV) werken. Met zo’n lichtbron gaat het lithografieproces sneller en zorgvuldiger, zodat er minder chips weggegooid hoeven te worden.

ASML is de enige fabrikant van chipmachines die deze complexe techniek productierijp wist te maken. De machines kosten meer dan 100 miljoen euro per stuk en zijn twee verdiepingen hoog.

EUV speelt een sleutelrol bij de massaproductie van chips, een markt met een omzet van meer dan 400 miljard dollar. De halfgeleidersector werd zo groot dankzij een wereldwijd netwerk van toeleveranciers, fabrieken en chipontwerpers. Hun vertrouwensrelatie wordt ruw verstoord door een handelsoorlog waarin wantrouwen regeert.

Afgelopen week reageerden zowel de Chinese en de Amerikaanse ambassadeur in het FD op de ASML-kwestie. China is boos dat Nederland zich laat ringeloren door de VS, de Amerikanen pleiten juist voor een volledig exportverbod van EUV.

Minister-president Rutte en minister Kaag van Buitenlandse handel en Ontwikkelingssamenwerking (D66) reageerden vrijdag dat Nederland zelfstandig een keuze maakt om al dan niet een exportvergunning te verstrekken. Kaag verwijst naar het Wassenaar Arrangement, een mulitateraal verdrag dat EUV op de ‘dual goods’-lijst plaatst: technologie die voor militaire doeleinden gebruikt kan worden en niet zomaar in Chinese handen mag vallen.

Nederland kan op basis van ‘Wassenaar’ zelfstandig een afweging maken. Maar het besluit om in juni 2019 de reeds bestaande exportvergunning voor EUV niet te verlengen, is niet los te zien van president Trumps poging om China te isoleren van geavanceerde technologie. Blijkbaar had Trump een overtuigend argument om Nederland te laten aarzelen met het douanestempel.

Druppeltje tin

Hoe kan de VS invloed hebben op de export van technologie die in Veldhoven ontwikkeld wordt? Een mogelijke verklaring is dat niet de hele machine, maar wel meegeleverde reserveonderdelen voor EUV-machines, onder Amerikaanse exportrestricties kunnen vallen als dat bewuste reserveonderdeel in de VS gemaakt wordt.

Een lithografiesysteem bestaat uit meerdere segmenten, waaronder de lichtbron. In het geval van EUV is het een laserstraal die in een vacuüm op een druppeltje tin botst. De lichtbron komt van ASML’s dochteronderneming Cymer uit San Diego. ASML kocht Cymer in 2013 voor bijna 2 miljard euro. De overname moest de EUV-techniek volwassen maken; het lukte Cymer niet op eigen kracht om aan ASML’s eisen te voldoen.

Lees ook: Groeien op één miljardste meter

Een ander argument tegen export van EUV is dat chips voor militaire doeleinden gebruikt kunnen worden. Dat risico geldt net zo goed voor ‘standaard’ lithografie, waarvoor geen exportvergunning nodig is.

ASML kan aan Chinese klanten een garantie vragen dat de chips niet in een raket of een vliegtuig belanden. Dit is lastig te controleren omdat in China „de militaire en civiele sectoren nauw verweven zijn”, aldus de China-strategie van het kabinet.

Opmerkelijk is dat China, ook zonder Nederlandse exportvergunning, toegang heeft tot EUV-techniek. Huawei ontwerpt eigen chips via dochterbedrijf HiSilicon en laat die maken in Taiwan, bij TSMC. TSMC is een grote afnemer van ASML’s EUV-machines. De Amerikanen zetten daarom ook Taiwan onder druk om de export aan China te stoppen.

Geen snelle kopie

ASML beschouwt China vooral als een groeikans en lijkt zich, in tegenstelling tot de Nederlandse regering, weinig zorgen te maken over diefstal van kennis of een snelle Chinese kopie. De techniek staat of valt met de expertise van ASML-medewerkers die de systemen niet uit het oog verliezen en een netwerk dat non-stop toezicht houdt.

Bagatelliseert ASML het risico op diefstal? Het beste bewijs dat EUV erg moeilijk na te bootsen is komt van ASML’s concurrenten Nikon en Canon. Zelfs deze ervaren bedrijven slaagden er niet in EUV productierijp te krijgen. Daarom heeft ASML nu een marktaandeel van 100 procent in EUV, en daarmee de onverdeelde aandacht van twee grootmachten.