IBM maakt veel kleiner circuit op chip

Het aantal schakelingen op een computerchip kan sterk worden verhoogd. Onderzoekers van IBM hebben chips gemaakt met bedradingen die drie keer smaller zijn dan in moderne pc's.

Door bedradingen van krap 30 nanometer breed (een nanometer is een miljoenste millimeter) op een chip te maken hebben de onderzoekers van IBM een nieuwe grens doorbroken. Producenten van computerchips gingen er tot nu toe vanuit dat circuits dunner dan 32 nanometer niet gemaakt zouden kunnen worden met bestaande optische technieken.

Dat het IBM nu toch is gelukt, betekent dat chipmakers de overstap naar experimentele, radicaal andere productietechnologieën (röntgenlithografie, elektronenlithografie) kunnen uitstellen.

Dunnere schakelingen op chips verhogen de rekencapaciteit van pc's, omdat er dan meer elektronica op een kleiner oppervlak past.

Fotolithografie is een proces waarin een patroon van elektronische schakelingen via een masker en een lens wordt verkleind en geprojecteerd op een silicium schijf met een lichtgevoelige laag. Delen van de lichtgevoelige laag die belicht zijn worden daarna weggeëtst. Daar wordt het silicium blootgesteld aan de volgende stappen in het fabricageproces.

De golflengte van zichtbaar licht (400 tot 700 nanometer) stelt grenzen aan de minimale breedte van de schakelingen op een chip die op deze manier wordt belicht. Chipmakers gebruikten al enige tijd licht met een zeer korte golflengte (ultraviolet). In de zogeheten natte lithografie laten de chipmakers bovendien het licht door een doorzichtige vloeistof (gezuiverd water) vallen. Het water heeft een hogere brekingsindex dan lucht. Daardoor kunnen de stralen nauwer gefocusseerd worden. IBM heeft nu deze 'natte lithografie' verbeterd en gisteren gepresenteerd op een technologiecongres in San José (Californië). De onderzoekers vervingen het water door een vloeistof met een nog hogere brekingsindex. Ook gebruiken zij een systeem dat twee lichtstralen splitst en weer samenbrengt waardoor interferentie van lichtgolven ontstaat waarmee nog fijnere structuren afgebeeld kunnen worden.