ASML verkoopt `douchekop'

Chipmachinebouwer ASML heeft aan de Taiwanese chipproducent TSMC de eerste machine verkocht die gebruikmaakt van een techniek waarbij de chips `onder water' worden gefabriceerd met een geavanceerde douchekop. De technologie is toegepast in de al bestaande Twinscan-machines van de Veldhovense fabrikant. Naar verluidt kost het apparaat rond de 15 miljoen euro, en is daarmee het duurste systeem dat ASML produceert.

ASML, wereldwijd marktleider, is de eerste fabrikant die gebruikmaakt van de `immersie-technologie', waarvan het principe in 1880 werd ontdekt door de Duitser Ernst Abbe. Sommige microscopen maken gebruik van de methode, waarmee de nauwkeurigheid te vergroten is.

Volgens analisten groeit de markt voor immersie van nul naar 230 miljoen dollar in twee jaar. De Japanse rivaal Nikon werkt ook aan de techniek.