ASML met Amerikanen in nieuwe technologie

ASM Lithography zal met onder meer chipfabrikant Intel en de Amerikaanse overheid een nieuwe technologie ontwikkelen om over vijf tot zes jaar krachtiger halfgeleiders te kunnen produceren. Dat heeft financieel bestuurder G. Verdonschot van ASML vanmorgen bevestigd.

“Het is nog niet rond', aldus Verdonschot, “maar het ziet ernaar uit dat we eruit komen.' Een overeenkomst tussen ASML en Intel marktleider in microprocessoren, werd gisteren genoemd als een belangrijke aanleiding voor de koersstijging met ruim 13 procent van het aandeel ASML op de Amsterdamse effectenbeurs. Vanmorgen noteerde het fonds dik een procent lager op 52,80 gulden.

ASML is al meer dan een jaar in gesprek met Intel en andere deelnemers in het onderzoeksproject waarmee minimaal een half miljard gulden is gemoeid.

Volgens Verdonschot wilde de Amerikaanse overheid garanties dat de kennis over de nieuwe technologie met de deelname van een Europese producent niet geheel uit de Verenigde Staten verdwijnt.

Lithografie, het projecteren van een lijnenpatroon op een plak silicium, is een cruciale stap in het produktieproces van chips. Het is een van de weinige technieken in de chipproductie waarin de VS geen sterke positie hebben. “Ze vinden het een beetje eng', zegt Verdonschot, om die technologie niet zelf in huis te hebben.

ASML heeft moeten toezeggen de nieuwe technologie in een Amerikaanse fabriek te zullen toepassen en Amerikaanse onderdelen te zullen gebruiken.

Het researchproject van onder meer Intel en ASML is een van een handvol projecten die erop zijn gericht steeds dunnere lijntjes op chips te projecteren. Kleinere lijntjes betekent meer circuits, meer schakelingen en snellere chips. De huidige technologie waarbij gebruik wordt gemaakt van lichtbundels, loopt tegen de grenzen van miniaturisering aan. Daarom worden tal van andere technieken onderzocht.

Naast het Intel-project, waarin gebruik wordt gemaakt van zogenoemd extreem ultraviolet licht (EUV), werken volgens Verdonschot bedrijven als Lucent en IBM aan nog ten minste een handvol andere mogelijkheden.

ASML is betrokken bij nog zeker twee andere technologieen die op langere termijn mogelijkheden zouden kunnen bieden voor het aanbrengen van steeds fijnmaziger lijnen op chips. “Van de technologieen waaraan nu wordt gewerkt zulllen er een of twee overblijven', zegt Verdonschot. “Wij wedden niet op een paard.'

Behalve Intel zijn ook de bedrijven Advanced Micro Devices (AMD) en Motorola en de Amerikaanse defensielaboratoria Sandia en Lawrence Livermore bij het researchproject betrokken. De Japanse concurrent Nikon met een marktaandeel van 44 procent in het afgelopen jaar 's werelds grootste producent van apparaten voor lithografie, heeft afgehaakt. ASML was vorig jaar, volgens cijfers van marktonderzoeker Dataquest, met een marktaandeel van 25 procent de tweede speler op deze markt.

ASML heeft eind vorige maand gewaarschuwd dat het in de tweede helft van dit jaar geen winst zal maken. De aanhoudende malaise op de chipmarkt heeft klanten van ASML ertoe gebracht investeringen in de kostbare apparaten voor lithografie uit te stellen.